确诊矽肺的检查主要有体格检查、胸部X线检查及高分辨CT、肺组织活检，此外，肺功能测定、支气管肺泡灌洗液检测等检查有助于辅助诊断。体格检查体格检查是就诊后进行的第一步检查。医生通过身体检查，可以发现相应的体征，如支气管移位、叩诊浊音等。胸部X线、CT胸部X线可以观察肺部是否有阴影及阴影的形状、面积、部位等，判断阴影的性质，是矽肺诊断的主要依据。胸部高分辨CT观察肺间质情况更为清晰。肺功能测定可以判断通气功能障碍的严重程度，以及是否合并换气功能障碍，是矽肺患者劳动能力鉴定的依据。支气管肺泡灌洗液检测可以观察肺泡细胞的形态和结构的变化，是诊断和鉴别诊断的参考依据。肺活检经支气管镜肺活检及经皮肺穿刺肺活检等，对诊断有一定帮助，但取到的肺组织量少，难以观察到肺间质等具体情况。经支气管冷冻肺活检能取到的肺组织较多，目前多中心研究提示可用于间质性肺疾病的病理诊断。必要时需要胸腔镜下肺活检或开胸肺活检。